Vakuumwiderstands-Ofen für die Produktion bis zu 2200°C für die Polysilicium-Sinterung

Beschreibung:

• Dieser 1-zu-1-Vakuumwiderstands-Ofen, der für die Massenproduktion von Polysilicium in Halbleiterqualität ausgelegt ist, liefert eine stabile Erwärmung von 2200 °C durch eine versiegelte Vakuumkammer und eine hochwertige Widerstandsheizung.Es arbeitet mit 380V 3-Phasen-Leistung mit Thyristor-Steuerung, die eine extrem stabile Temperaturleistung für die hochreine Materialverarbeitung gewährleistet.
• Seine robuste industrielle Struktur widersteht Verschleiß durch kontinuierlichen Betrieb,Während die Präzisionstemperaturregelung thermische Schwankungen eliminiert, die für die Aufrechterhaltung der Reinheit und Konsistenz von Polysilicium in großen Chargen von entscheidender Bedeutung sind.Die geschlossene Konstruktion des Ofen verhindert eine äußere Kontamination und entspricht den Normen der Halbleiterindustrie.
• Ausgestattet mit mehrschichtigen Sicherheitsvorrichtungen (Überhitzungswarnsignale, Vakuumausfallwarnsignale, Notstopp) und einer intuitiven Schnittstelle, erfordert es eine minimale Überwachung,Ideal für die großflächige Polysilicium-Sinterung von Solarzellen und Halbleiterwafern.

Anwendung:

• Polysilicium Sintern: Massenproduktion von hochreinem Polysilicium für die Herstellung von Solarzellen.
• Verarbeitung von Halbleitermaterialien: Kontinuierliche Wärmebehandlung von Polysilicium zur Herstellung von Halbleiterwafern.
• Hochreine Siliziumbehandlung: Massenverarbeitung von Siliziummaterialien für elektronische Bauteile.

Spezifikation:

Konfiguration des Ofen:

• Hochtemperaturfähigkeit: Erreicht bis zu 2200°C.
• Vakuum- und Widerstandsheizung: Die Vakuumumgebung verhindert die Oxidation des Materials.
• Genaue Steuerung: Ausgestattet mit dem japanischen Shimaden High-Precision Temperature Control System FP93, das stabile Sinterprozesse und eine gleichbleibende Produktqualität gewährleistet.
• Vielseitigkeit: Kompatibel mit einer Vielzahl von Materialien (Kohlenstoff, Keramik, Legierungen, C/C, spezielle Pulver) und erfüllt unterschiedliche Produktionsanforderungen.
• Sicherheit und Zuverlässigkeit: Ausgestattet mit Kurzschluss, Überdruck, Übertemperatur, Überstrom, Wasserknappheit und anderen Schutzmechanismen für einen sicheren Betrieb.